MC & MCR系列質(zhì)量流量控制器參數(shù):

0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 3000 slpm 滿量程

產(chǎn)品性能: MC & MCR 系列質(zhì)量流量控制器 

精度(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下): ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S) 

高精度選配(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下): ±(0.4%Rdg + 0.2%F.S) 

高精度(選配)僅適用于量程為: 5SCCM ~ 500SLPM 的設(shè)備

重復(fù)性: ±0.2% F.S 

零點(diǎn)漂移&滿量程漂移: 0.02% F.S / oC / Atm 

工作范圍 / 量程可調(diào)比: 0.5% ~ 100 F.S / 200:1 

很大可控流量： 102.4% F.S 

典型響應(yīng)時(shí)間： 100 毫秒(可調(diào)整) 

啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間: < 1 秒

運(yùn)行工況: MC & MCR 系列質(zhì)量流量控制器 

標(biāo)準(zhǔn)工況 :(STP) 25oC & 14.696 psia、20oC & 14.696 psia、0oC & 14.696 psia (三種工況供切換) 

工作溫度: ?10 ~ +50 oC 

工作濕度范圍 (非冷凝) :0 ～ 100 

內(nèi)部很大工作壓力(靜壓): 145 psig 

很限壓力: 175 psig 

對(duì)安裝方式/方向的要求: MC: 無(wú) MCR: 閥門(mén)須垂直安裝 

閥門(mén)狀態(tài): 閥門(mén)常閉 

防護(hù)等級(jí): IP40 

材質(zhì) :MC: 303 & 302不銹鋼, Viton?, 硅膠RTV (橡膠), 玻璃增強(qiáng)尼龍, 鋁 , 黃銅, 430FR 不銹鋼, 硅, 玻璃 MCR: 303 & 302不銹鋼, Viton?, 硅膠RTV (橡膠), 玻璃增強(qiáng)       尼龍, 鋁, 416不銹鋼, 鎳, 硅, 玻璃