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日本Horiba S48 28氣體質量流量控制器響應快速，可任意角度安裝，可對零點漂移有效的控制。
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日本Horiba S48 28氣體質量流量控制器響應快速，可任意角度安裝，可對零點漂移有效的控制。
日本Horiba S48 28氣體質量流量控制器產品特點：
可以任意角度安裝
良好的線性——多段線性補償
快速的響應
電磁閥使用壽命大于等于100萬次
對零點漂移有效的*制
良好的選擇性
日本Horiba S48 28氣體質量流量控制器安裝尺寸圖：
日本Horiba S48 28氣體質量流量控制器技術參數：
編號 | 項目 | S48 28/HMT | |
1 | 流量規(guī)格 | (100,150,200)L/min | |
2 | 調節(jié)閥類型 | 電磁調節(jié)閥 | |
3 | 調節(jié)閥靜止狀態(tài) | 常閉 | |
4 | 安裝角度 | 任意 | |
5 | 流量控制范圍 | 5%~100% | |
6 | 流量測量范圍 | 0~100% | |
7 | 響應時間 | 2s(T98,設定值的±2% F.S.) | |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 5℃~50℃ | |
9 | 精度保證溫度 | 15℃~35℃ | |
10 | 精度 | ±1.0%F.S. | |
11 | 線性精度 | ±0.5%F.S. | |
12 | 重復性 | ±0.2%F.S. | |
13 | 工作壓差 | (100/150/200)L/min:(100/150/200)~300kPa | |
14 | 耐壓 | 3MPa | |
15 | 泄漏率 | 1×10-8 Pa?m3/s (He) | |
16 | 接觸氣體材料 | 316L,PTFE,Viton氟橡膠 | |
17 | 管路接頭 | Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″ | |
18 | 供電電源 | ±15VDC(±5%) | +24VDC(寬電壓+11~+25V), |
19 | 設定信號 | (0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ | 4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V) |
20 | 流量輸出信號 | (0~5)VDC 負載能力≤3mA | |
21 | 電氣接頭 | D-SUB15,D-SUB9 | |
22 | 重量(kg) | 2.8 | |
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